常見的真空泵種類有哪些?


發(fā)布時間:

2022-07-08

真空泵種(zhǒng)類(lèi)有很多,按工作原理可以分為:氣體輸送(sòng)泵和氣體捕集泵;按真空度可以分為:粗真空度、高真空度(dù)和超高真空度(dù)。按工作(zuò)原理分:一、氣體輸(shū)送泵:1、變(biàn)容真(zhēn)空泵1)往複式2)旋片式(shì): (1)油封式:旋片、滑閥(fá)式、定片式、餘(yú)擺線式、多室旋片式; (2)幹式螺杆; (3)液環式; (4)羅茨真(zhēn)空泵;2、動量傳輸泵1)分子真(zhēn)空(kōng)泵:牽引(yǐn)分子泵、渦輪分子泵、複合分子泵;2)噴射(shè)真空泵:液體噴射真空(kōng)泵、氣(qì)體噴射真(zhēn)空泵、蒸汽(qì)噴射真空泵;3)擴散泵:自淨化擴散泵、分餾式擴散泵;4)擴(kuò)散噴射泵;5)離子輸運泵(bèng);二、氣體捕集泵1、吸附泵;2、吸(xī)氣劑泵;3、吸氣劑離子泵:蒸發離子泵、濺射離(lí)子(zǐ)泵;4、低溫泵;

常見的真空(kōng)泵種類有哪些?

真空(kōng)泵種類有很多,按工(gōng)作原理可以分為:氣體輸送泵和氣體捕集泵;按真(zhēn)空度可以分為:粗真空(kōng)度、高真空度和超高真空度。

按工作原理分:

一、氣體輸送泵:

1、變容真(zhēn)空(kōng)泵

1)往複(fù)式

2)旋片式:
(1)油封式:旋片、滑閥式(shì)、定片式、餘擺線(xiàn)式、多室旋片式;
(2)幹式螺杆;
(3)液環式;
(4)羅茨真空泵;

2、動量傳輸泵

1)分子真空泵:牽引分子泵、渦輪分子泵、複合分子泵;

2)噴射真空泵:液體噴射真空泵、氣體噴射真空泵、蒸汽噴(pēn)射真空泵;

3)擴散泵(bèng):自淨化擴散泵、分餾式擴散泵;

4)擴散噴射泵;

5)離子輸運泵;

二、氣體捕集(jí)泵

1、吸附泵;

2、吸(xī)氣劑泵;

3、吸氣劑離子泵:蒸發(fā)離子(zǐ)泵、濺射離子泵(bèng);

4、低溫泵;

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